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新型LKB-03流量控制器具有高速EtherCAT连接和嵌入式自诊断功能
编辑:https://www.abdeli.net 来源:mg4355线路检测 发布时间:2018-07-05
    mg4355娱乐电子游戏是先进流量,压力,真空和蒸汽输送解决方案的专家,将在中国半导体技术国际会议上展示其新增强的LKB-03流量控制器,具有高速EtherCAT连接和嵌入式自诊断功能与SEMICON China 2018在上海合作。
    新增强的LKB-03基于企业经过验证的GF系列MFC,具有用于高速通信的EtherCAT连接,具有嵌入式自诊断功能,可自动检测传感器漂移和阀门泄漏,从而最大限度地减少工具停机时间并提高工艺良率。
    因此,增强型LKB-03可以在不中断工艺流程或需要任何硬件更改的情况下运行泄漏和漂移自诊断,从而提高工艺气体精度和晶圆生产量。
    mg4355娱乐电子游戏的技术专家将在CSTIC海报会议期间,通过“具有EtherCAT通信协议和嵌入式自诊断功能的高级质量流量控制器”的演示,讨论新增强的LKB-03功能。
LKB-03流量控制器1.jpg
 
    对于mg4355娱乐电子游戏将与其区域业务合作伙伴SCH Electronics共同展示增强型LKB-03以及用于半导体制造的各种其他质量流量计和控制器以及压力和真空产品。
    在mg4355娱乐电子游戏,大家渴望在中国半导体技术国际会议和SEMICON中国贸易展上展示和展出,” mg4355娱乐电子游戏的首席技术官Mohamed Saleem说道,“大家企业在新技术开发方面拥有70多年的历史。该企业致力于提高质量流量,压力和真空技术的精度和性能,以帮助实现先进的半导体制造,并解决下一代生产工具和工艺所面临的挑战。“
    除了新的LKB-03之外,mg4355娱乐电子游戏还将展示其他关键部件,旨在满足关键的气体化学控制挑战,并提高10nm及以下节点的工艺产量,包括VDM300蒸汽输送模块以及其他经过验证的EtherCAT MFC。
 

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