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精确的质量流量控制改善真空镀膜强大功能
编辑:https://www.abdeli.net 来源:mg4355线路检测 发布时间:2017-11-23 10:13:58

精确的质量流量控制改善真空镀膜强大功能

 
    自仪的MCE和平均红细胞容积(MCV)系列系列是直接更换普通工业质量流量控制器
    自仪质量流量控制器在一个真空的环境,确保最佳的涂料在涂料室,保持产品的完整性和溅射工艺。心肌声学造影(MCE)和平均红细胞容积(MCV)的系列,这个系列可以用来取代传统的和discontinued万机仪器。拟合相同的制造业质量流量控制器的公共空间,这两个系列是易于融入现有的系统。在使用,他们提供快速,准确的流动性和质量控制过程。


 图2.jpg


    该自仪MCE和MCV精确控制气体流量低至0.6 SCCM全面或0-40 SLPM满刻度60到110毫秒的响应时间,高控制。快速响应时间可以大大改善真空镀膜最终产品,有助于消除目标中毒。综合气动切断阀是常闭,可切断2×20-10 ATM SCCM /秒氦最大。
MCE可以代替传统型MKS 1179a质量流量,而MCV代替终止式MKS 2179a质量流量。自仪质量流量控制器运行在通用的24伏直流电供应,将匹配任何预先存在的针在针或20针D-sub连接器,方便更换。这个装置可以安装在任何方向,甚至颠倒了,没有调整,进一步简化装置。
    预编程的89种气体校准,体积流量的MCE和MCV测量质量流量,绝对压力和温度,全温压补偿。单元可以通过仪表键盘直接编程,也可以通过RS-232远程(也可用RS-485)编程。
    MCE和MCV使用专利层流差压(DP)技术在许多自仪科学流量仪表,提供NIST认证,并带有CE标志。

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